Material alvo de pulverização catódica de liga de titânio e tungstênio

Material alvo de pulverização catódica de liga de titânio e tungstênioé fabricado por fusão, prensagem isostática a quente ou fundição a vácuo de tungstênio (W) e titânio (Ti) em proporções específicas. Os graus de pureza comuns incluem WTi 99.9, WTi 99.95, WTi 99.99, WTi 99.995 e WTi 99.999, em conformidade com os padrões da indústria para alvos de liga de tungstênio-titânio.

Alvos de pulverização catódica de metais de alta pureza

Fabricação de semicondutores:Camadas de barreira de porta, camadas de contato, interconexões metálicas para VLSI, CMOS, dispositivos de energia e eletrodos de memória; material de camada de contato para circuitos de portas em ambientes-de alta temperatura

Fotovoltaica e células solares:Camadas condutoras/barreira estáveis ​​em processos de deposição de alta-temperatura, melhorando a eficiência da célula

Aeroespacial:Filmes de liga-de alta temperatura, revestimentos de proteção térmica, espelhos de raios-X, camadas refletoras de laser para ambientes de alta-temperatura/alta{3}}radiação

Revestimentos Ópticos:Películas ópticas resistentes a-altas temperaturas e corrosão-para componentes ópticos rígidos, camadas anti-reflexas, janelas de laser

Outras aplicações:Endurecimento de superfície para ferramentas de corte, tratamento de superfície de implantes médicos, revestimentos-resistentes ao desgaste e-anticorrosão

Vantagens do produto

Alto ponto de fusão e estabilidade térmica:Pontos de fusão normalmente acima de 3.000 graus (até 3.422 graus para algumas composições), mantendo a integridade estrutural em ambientes de pulverização catódica de alta-temperatura

Excelente resistência à corrosão:A adição de titânio aumenta significativamente a resistência à oxidação e a tolerância a ácidos/álcalis, minimizando a oxidação durante o uso prolongado em vácuo ou atmosferas inertes

Boa condutividade elétrica e baixa migração de elétrons:Adequado para camadas metálicas semicondutoras, proporcionando características de resistência estáveis

Alta dureza e resistência ao desgaste:Dureza Mohs ~7-8, aumentando com o conteúdo de tungstênio, resistindo à erosão alvo e mantendo taxas uniformes de pulverização catódica

Baixo estresse interno e pulverização catódica uniforme:O titânio inibe o engrossamento dos grãos, reduz as diferenças no coeficiente de expansão térmica, minimiza a tensão interna do filme fino e melhora a densidade e a adesão do filme

Composição ajustável:As proporções comuns incluem W:Ti=90:10, 70:30, 50:50, permitindo ajuste flexível do ponto de fusão, dureza e condutividade térmica com base nos requisitos do processo

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Sobre STRX Titanium – Por que nos escolher?

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